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高圧ミスト式現像機(エルフォミストジェット)  

高圧ミスト式現像機図 

エルフォミストジェットは弊社の直圧式サンドブラスト装置エルフォブラスターの技術を応用して 研磨材の代わりにミストを高圧で吹き付けることにより使用する液量を少なくして効率よく、 より高精度にドライフィルム・液レジ・スクリーン製版等のフォトレジストの現像を行えるようにした全く新しい技術です。 このエルフォミストジェットを使用することにより従来加工できなかった電子部品の分野や印刷の分野に於いて、 非常に微細なパターンを精度良く高アスペクトに形成することが可能になりました。

洗浄装置関連

高圧ミスト洗浄機

高圧ミスト式洗浄機図  洗浄液をミスト化して高圧で吹き付けることにより使用する洗浄液の使用量を少なく効率よく基板等に付着した微粒子や汚れを除去することができる。




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